Optische Profilometrie  

Die optische Profilometrie, eine nicht invasive und zerstörungsfreie Methode,  schließt die Lücke zwischen Tastschnittverfahren und Rastersondenmikroskopie. Sie bietet eine hohe Tiefenschärfe.

Information der optischen Profilometrie: Topographie, Form und Struktur und Schichtdicken aus  Stufenkanten.

Gewichtete Kombination von lichtmikroskopischen 2D-Schichtaufnahmen (Tiefenschärfekorrektur), Erstellung eines map file und 3D-Darstellung. Beispiel: Detailansicht einer Kupfermünzenoberfläche und Höhen-Linienprofil

Gewichtete Kombination von lichtmikroskopischen 2D-Schichtaufnahmen (Tiefenschärfekorrektur).  Beispiel: Detailansicht einer beschriebenen und defekten CD-ROM-Oberfläche, 3D-Darstellung

Gewichtete Kombination von lichtmikroskopischen 2-D-Schichtaufnahmen (Tiefenschärfekorrektur), Erstellung eines map file, Auflicht,  3D-Darstellung, Objekt:.Detailansicht, Rauh-/Geometrienormal und Höhenlinienprofil