Die optische Profilometrie, eine nicht invasive und zerstörungsfreie Methode, schließt die Lücke zwischen Tastschnittverfahren und Rastersondenmikroskopie. Sie bietet eine hohe Tiefenschärfe. Information der optischen Profilometrie: Topographie, Form und Struktur und Schichtdicken aus Stufenkanten. |