Exakte Prüfung der Mikrogeometrie von Oberflächen Mit einem Auflicht-Interferometer steht ein hochempfindliches Messmikroskop, dessen Eichnormal die
Lichtwellenlänge ist, zur Verfügung. Gemessen werden: Rauhtiefen (Oberflächenqualität), Niveauunterschiede, Schichtdicken, Ritz- und Ätztiefen, Korngrenzenübergänge, Materialdicken, Längen und Winkeln im mikroskopischen Bereich . Messprinzip: Interferenzanordnung nach Linnik und nach Michelson. Berührungsloses Vermessen des gesamten vom Objektiv erfassten Flächenausschnittes. |