Interferometrie 

Exakte Prüfung der Mikrogeometrie von Oberflächen

Mit einem Auflicht-Interferometer steht ein hochempfindliches Messmikroskop, dessen Eichnormal die Lichtwellenlänge ist, zur Verfügung. Gemessen werden:  Rauhtiefen (Oberflächenqualität), Niveauunterschiede, Schichtdicken, Ritz- und Ätztiefen, Korngrenzenübergänge, Materialdicken, Längen und Winkeln im mikroskopischen Bereich . Messprinzip: Interferenzanordnung nach Linnik und nach Michelson. Berührungsloses Vermessen des gesamten vom Objektiv erfassten Flächenausschnittes.

 Mikroskopinterferometer nach Linnik (Leitz)

 Beispiel : Weisslichtinterferometrie in einem defekten, holografisch hergestellten Gitter,  Furchentiefe = 1,06 µm

 Beispiel : Interferometrie bei 550nm, 3D-Darstellung einer Riefe in einer Metalloberfläche (Detailbild)

 Beispiel : Interferometrie bei 550nm, 3D-Darstellung einer gefrästen Metalloberfläche (Detailbild)